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磁控溅射工艺专利技术文献

2020/1/27 12:24:01

  1、] 离子束增强磁控溅射渗镀涂层装置及艺

  [2、] 磁控溅射热弯镀膜玻璃及其生产方法以及装置

  [3、] 在非晶体材料上磁控溅射锗晶体薄膜的方法

  [4、] 磁控管溅射

  5-WX52783 双面溅射的平面磁控溅射阴极

  6-WX52783 平面磁控溅射靶及其镀膜方法

  7-WX52783 高能级磁控溅射离子镀技术

  8-WX52783 复合磁控溅射靶及其镀膜方法

  9-WX52783 分离磁体式平面磁控溅射源

  10-WX52783 枪磁控溅射源

  11-WX52783 多源型平面磁控溅射源韵

  12-WX52783 专用于沉积大面积薄膜的平面磁控溅射源

  13-WX52783 可调式对向磁控溅射源及其镀膜方法

  14-WX52783 磁控溅射铬靶的制造方法

  15-WX52783 高真空多靶磁控溅射方法和装置

  16-WX52783 对称磁体磁控溅射源

  17-WX52783 磁控型溅射系统的阳极结构

  18-WX52783 柱状螺旋磁控溅射源

  19-WX52783 磁控管溅射装置 :

  20-WX52783 一种磁控溅射镀吸收膜艺

  21-WX52783 旋转靶柱型磁控溅射器

  22-WX52783 磁控溅射方法

  23-WX52783 反应磁控管溅射装置和方法

  24-WX52783 片式磁控管溅射装置

  25-WX52783 非平衡平面磁控溅射阴极及其镀膜装置

  26-WX52783 对向异材磁控溅射靶制备合金薄膜艺方法

  27-WX52783 磁控管溅射源

  28-WX52783 包层的空阴极磁控管溅射靶的制造方法

  29-WX52783 金红石疏水薄膜的强化直流磁控溅射制备方法

  30-WX52783 磁控管用于控制目标冲蚀和溅射的装置

  31-WX52783 真空磁控溅射泡沫金属化

  32-WX52783 制备组分渐变薄膜的磁控溅射靶

  33-WX52783 低温下用磁控溅射技术制备无应力氧氮硅薄膜

  34-WX52783 晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法

  35-WX52783 一种等离子体增强非平衡磁控溅射方法

  36-WX52783 磁控管溅射室上的分离磁体环

  37 -8supPa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置&C23CIa01用于10sup-8supPa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置

  38-WX52783 一种在SiC微颗粒表面磁控溅射镀铜膜的方法

  39-WX52783 金属基k抗k菌贴片及其采用磁控溅射法制预成型体的艺

  40-WX52783 用于超高真空系统的磁控溅射阴极靶

  41-WX52783 采用磁控溅射在碳化硅反射镜表面涂覆硅膜的方法

  42-WX52783 磁控管溅射源、溅射涂敷设备及对衬底进涂敷的方法

  43-WX52783 磁控溅射卷绕镀膜

  44-WX52783 一种磁控溅射离子镀方法

  45-WX52783 一种磁控溅射Fe-Co合金靶的制造方法

  46-WX52783 一种磁控溅射Co-Cr-Ta合金靶的制造方法

  47-WX52783 磁控溅射-激光加热复合渗镀艺及设备

  48-WX52783 溅射磁控管

  49-WX52783 一种磁控管溅射装置

  50-WX52783 2TiAIN纳米多层膜&B32BIa01射频磁控溅射法制备超硬TiB2TiAIN纳米多层膜

  51-WX52783 通过溅射舱内轴瓦溅前负偏压清洗的PVD轴瓦磁控溅射艺

  52-WX52783 铝合金减摩层软锡相颗粒更细的PVD轴瓦磁控溅射艺

  53-WX52783 磁控溅射喷涂器人示教轨迹优化控制方法

  54-WX52783 磁控溅射曲面喷涂三维轨迹智能控制方法

  55-WX52783 利用直流反应磁控溅射制备p-ZnMgO薄膜的方法

  56-WX52783 磁控溅射设备的设计支持方法、系统和程序

  57-WX52783 一种矩形平面磁控溅射阴极

  58-WX52783 一种平面磁控溅射靶

  59-WX52783 生产磁控溅射热弯镀膜玻璃的装置

  60-WX52783 高反射镜连续磁控溅射镀膜生产设备

  61-WX52783 对靶式直流磁控离子溅射台

  62-WX52783 一种新型柱状磁控溅射源

  63-WX52783 室固定靶磁控溅射幕墙玻璃镀膜

  300-WX52783 用于溅射磁性材料的磁控靶

  301-WX52783 一种高功率平面磁控溅射阴极

  302-WX52783 一种可提高靶材利用率的平面磁控溅射阴极

  303-WX52783 批量制备镀膜颗粒的滚筒式磁控溅射设备

  304-WX52783 通过防护处理的磁控溅射圆柱靶

  305-WX52783 磁控溅射均匀进气装置

  306-WX52783 一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置

  307-WX52783 磁路构及具有该磁路构的磁控溅射阴极

  308-WX52783 连续式平面磁控溅射镀膜设备

  309-WX52783 一种真空磁控溅射卷绕镀膜装置

  310-WX52783 大型复杂曲面制件磁控溅射镀膜

  311-WX52783 在带状纤维织物上磁控溅射纳米的卷绕镀膜

  312-WX52783 磁控溅射设备

  313-WX52783 多功能磁控溅射连续镀膜

  314-WX52783 磁控溅射镀膜设备

  315-WX52783 一种带有补偿斜靶的真空磁控溅射镀膜

  316-WX52783 磁控溅射生产线移动式回架车的专用供装置

  317-WX52783 磁控溅射靶

  318-WX52783 一种新型结构平面磁控溅射靶

  319-WX52783 大面积孪生磁控溅射源

  320-WX52783 内装式磁控溅射靶

  321-WX52783 一种磁控溅射镀膜设备的靶材结构

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