磁控溅射工艺专利技术文献
1、] 离子束增强磁控溅射渗镀涂层装置及艺
[2、] 磁控溅射热弯镀膜玻璃及其生产方法以及装置
[3、] 在非晶体材料上磁控溅射锗晶体薄膜的方法
[4、] 磁控管溅射
5-WX52783 双面溅射的平面磁控溅射阴极
6-WX52783 平面磁控溅射靶及其镀膜方法
7-WX52783 高能级磁控溅射离子镀技术
8-WX52783 复合磁控溅射靶及其镀膜方法
9-WX52783 分离磁体式平面磁控溅射源
10-WX52783 枪磁控溅射源
11-WX52783 多源型平面磁控溅射源韵
12-WX52783 专用于沉积大面积薄膜的平面磁控溅射源
13-WX52783 可调式对向磁控溅射源及其镀膜方法
14-WX52783 磁控溅射铬靶的制造方法
15-WX52783 高真空多靶磁控溅射方法和装置
16-WX52783 对称磁体磁控溅射源
17-WX52783 磁控型溅射系统的阳极结构
18-WX52783 柱状螺旋磁控溅射源
19-WX52783 磁控管溅射装置 :
20-WX52783 一种磁控溅射镀吸收膜艺
21-WX52783 旋转靶柱型磁控溅射器
22-WX52783 磁控溅射方法
23-WX52783 反应磁控管溅射装置和方法
24-WX52783 片式磁控管溅射装置
25-WX52783 非平衡平面磁控溅射阴极及其镀膜装置
26-WX52783 对向异材磁控溅射靶制备合金薄膜艺方法
27-WX52783 磁控管溅射源
28-WX52783 包层的空阴极磁控管溅射靶的制造方法
29-WX52783 金红石疏水薄膜的强化直流磁控溅射制备方法
30-WX52783 磁控管用于控制目标冲蚀和溅射的装置
31-WX52783 真空磁控溅射泡沫金属化
32-WX52783 制备组分渐变薄膜的磁控溅射靶
33-WX52783 低温下用磁控溅射技术制备无应力氧氮硅薄膜
34-WX52783 晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法
35-WX52783 一种等离子体增强非平衡磁控溅射方法
36-WX52783 磁控管溅射室上的分离磁体环
37 -8supPa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置&C23CIa01用于10sup-8supPa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置
38-WX52783 一种在SiC微颗粒表面磁控溅射镀铜膜的方法
39-WX52783 金属基k抗k菌贴片及其采用磁控溅射法制预成型体的艺
40-WX52783 用于超高真空系统的磁控溅射阴极靶
41-WX52783 采用磁控溅射在碳化硅反射镜表面涂覆硅膜的方法
42-WX52783 磁控管溅射源、溅射涂敷设备及对衬底进涂敷的方法
43-WX52783 磁控溅射卷绕镀膜
44-WX52783 一种磁控溅射离子镀方法
45-WX52783 一种磁控溅射Fe-Co合金靶的制造方法
46-WX52783 一种磁控溅射Co-Cr-Ta合金靶的制造方法
47-WX52783 磁控溅射-激光加热复合渗镀艺及设备
48-WX52783 溅射磁控管
49-WX52783 一种磁控管溅射装置
50-WX52783 2TiAIN纳米多层膜&B32BIa01射频磁控溅射法制备超硬TiB2TiAIN纳米多层膜
51-WX52783 通过溅射舱内轴瓦溅前负偏压清洗的PVD轴瓦磁控溅射艺
52-WX52783 铝合金减摩层软锡相颗粒更细的PVD轴瓦磁控溅射艺
53-WX52783 磁控溅射喷涂器人示教轨迹优化控制方法
54-WX52783 磁控溅射曲面喷涂三维轨迹智能控制方法
55-WX52783 利用直流反应磁控溅射制备p-ZnMgO薄膜的方法
56-WX52783 磁控溅射设备的设计支持方法、系统和程序
57-WX52783 一种矩形平面磁控溅射阴极
58-WX52783 一种平面磁控溅射靶
59-WX52783 生产磁控溅射热弯镀膜玻璃的装置
60-WX52783 高反射镜连续磁控溅射镀膜生产设备
61-WX52783 对靶式直流磁控离子溅射台
62-WX52783 一种新型柱状磁控溅射源
63-WX52783 室固定靶磁控溅射幕墙玻璃镀膜
300-WX52783 用于溅射磁性材料的磁控靶
301-WX52783 一种高功率平面磁控溅射阴极
302-WX52783 一种可提高靶材利用率的平面磁控溅射阴极
303-WX52783 批量制备镀膜颗粒的滚筒式磁控溅射设备
304-WX52783 通过防护处理的磁控溅射圆柱靶
305-WX52783 磁控溅射均匀进气装置
306-WX52783 一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置
307-WX52783 磁路构及具有该磁路构的磁控溅射阴极
308-WX52783 连续式平面磁控溅射镀膜设备
309-WX52783 一种真空磁控溅射卷绕镀膜装置
310-WX52783 大型复杂曲面制件磁控溅射镀膜
311-WX52783 在带状纤维织物上磁控溅射纳米的卷绕镀膜
312-WX52783 磁控溅射设备
313-WX52783 多功能磁控溅射连续镀膜
314-WX52783 磁控溅射镀膜设备
315-WX52783 一种带有补偿斜靶的真空磁控溅射镀膜
316-WX52783 磁控溅射生产线移动式回架车的专用供装置
317-WX52783 磁控溅射靶
318-WX52783 一种新型结构平面磁控溅射靶
319-WX52783 大面积孪生磁控溅射源
320-WX52783 内装式磁控溅射靶
321-WX52783 一种磁控溅射镀膜设备的靶材结构