多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法

　　2 低温多晶硅显示装置及其制作方法

　　3 一种yi制多晶硅针孔的多晶硅层缓冲局部场氧化硅结构工艺方法

　　4 多晶硅液晶显示器件的制造方法

　　5 具有多晶硅层的薄膜晶体管、制造方法及平板显示器

　　6 具有高性能集成电路多晶硅凝集熔消组件的互补金属氧化物半导体的工艺

　　7 以连续式侧向固化法形成多晶硅膜的方法及其光罩图案

　　8 电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳

　　9 多晶硅的生产装置

　　10 形成具高电阻值的多晶硅薄膜的方法

　　11 利用双镶嵌工艺来制造T型多晶硅栅极的方法

　　12 利用双镶嵌工艺来形成T型多晶硅栅极的方法

　　13 形成T型多晶硅栅极的方法

　　14 一种纳米线宽多晶硅栅刻蚀掩膜图形的形成方法

　　15 15-50纳米线宽多晶硅栅的刻蚀方法

　　16 应用于高效能薄膜晶体管的多晶硅退火结构及其方法

　　17 化学机械抛光用于接合多晶硅插拴制造方法及其结构

　　18 形成多晶硅的方法和在硅基材料中的MOSFET器件

　　19 具有多晶硅插头的半导体器件的制造方法

　　20 制造双层多晶硅存储器元件的方法

　　21 形成多晶硅结构

　　22 在半导体装置中形成多晶硅层的方法

　　23 制备多晶硅薄膜的方法以及用其制备半导体器件的方法

　　24 制造双层多晶硅可改写非挥发性存储器的方法

　　25 低温多晶硅薄膜晶体管及其通道层的制造方法

　　26 低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法

　　27 低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法

　　28 多晶硅细-脉-熔丝

　　29 一种制备多晶硅的方法

　　30 制造内层多晶硅介电层的方法

　　31 多晶化方法、制造多晶硅薄膜晶体管的方法及用于该方法的激光辐照装置

　　32 形成具有粗糙表面的多晶硅的方法

　　33 多晶硅薄膜晶体管制造方法

　　34 gai善栅极多晶硅层电阻值的方法

　　35 多晶硅薄膜晶体管的形成方法

　　36 彩色多晶硅微粒及其制备方法

　　37 平坦多晶硅薄膜晶体管的制作方法

　　38 闪存储器用的多层叠层多晶硅栅的平整方法

　　39 激光退火多晶硅薄膜晶体管栅绝缘层的制备方法

　　40 具有多晶硅层的显示面板及其制造方法

　　41 多晶硅薄膜晶体管离子感测装置与制作方法

　　42 用于多晶硅制作的辅zu激光结晶的方法

　　43 形成多晶硅薄膜的方法，包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管及其制造方法

　　44 浸沾法金属诱导碟形晶畴多晶硅薄膜材料及制备和应用

　　45 多晶硅化学机械研磨法来增进栅极微影能力的方法

　　46 带有掺杂多晶硅场发射阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺

　　47 溶液法金属诱导晶化大晶粒多晶硅薄膜材料及制备和应用

　　48 低温多晶硅薄膜晶体管显示面板及其制造方法

　　49 硅薄膜退火方法和由该方法制造的多晶硅薄膜

　　50 薄膜晶体管与多晶硅层的制造方法

　　51 一种制备太阳能级多晶硅的方法

　　52 具有多晶硅浮动隔离层的镜像存储单元晶体管对

　　53 激光辐射方法和形成多晶硅薄膜的装置

　　54 有机发光二极管显示面板及其多晶硅通道层的形成方法

　　55 具有单层多晶硅的镜像非易失性存储器单元晶体管对

　　56 单层多晶硅电可擦可编程只读存储器

　　57 一种多晶硅生产过程中的副产物的综合利用方法

　　58 一种gai善线条粗糙度的多晶硅刻蚀方法

　　59 一种多晶硅刻蚀工艺中的颗粒控制方法

　　60 一种能够消除残气影响的多晶硅刻蚀工艺

　　61 一种提高各向异性的多晶硅-脉-冲刻蚀工艺

　　62 一种减少颗粒产生的多晶硅栅极刻蚀工艺

　　63 一种能够防止器件等离子体损伤的多晶硅刻蚀工艺

　　64 具有平坦表面的多晶硅薄膜及其制造方法

　　65 一种多晶硅振动膜硅微电容传声器芯片及其制备方法

　　66 精密多晶硅电阻器工艺

　　67 用于减小多晶硅高度的SOI底部预掺杂合并e-SiGe

　　68 多晶硅-绝缘层-多晶硅电容和高阻多晶硅器件及制作方法

　　69 用于沉积多晶硅的CVD装置

　　70 一种多晶硅刻蚀中的干法清洗工艺

　　71 多晶硅薄膜制造方法和具有其的薄膜晶体管的制造方法

　　72 一种去除多晶硅刻蚀工艺中残留聚合物的方法

　　73 一种防止多晶硅刻蚀中器件等离子损伤的刻蚀工艺

　　74 降低多晶耗尽效应的制作多晶硅栅极晶体管的方法

　　75 双胆碱和三胆碱在涂石英多晶硅和其它材料清洁中的用法

　　76 一种太阳能电池用高纯多晶硅的制备方法和装置

　　77 一种生产多晶硅用的还原炉

　　78 限定多晶硅图案的方法

　　79 激光薄膜多晶硅退火光学系统

　　80 激光薄膜多晶硅退火系统

　　81 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法

　　82 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法

　　83 多晶硅的制造方法

　　274 使用流化床反应器制备颗粒多晶硅的方法

　　275 一种利用多晶硅生产废物制备无机化工产品的方法

　　276 采用金属芯结构制备高纯多晶硅棒的方法

　　277 太阳能多晶硅片的制备方法

　　278 多晶硅反应炉和多晶硅的制备方法

　　279 半导体器件制造过程中控制多晶硅薄层电阻的方法

　　280 半导体器件电容区上多晶硅阻值的控制方法