2 MEMS开关

　　3 MEMS开关

　　4 MEMS开关

　　5 MEMS开关

　　6 MEMS开关触点系统

　　7 MEMS开关及其制造方法

　　8 MEMS开关及其制作方法

　　9 MEMS开关器件、逻辑门以及集成电路

　　10 MEMS开关设备和制造方法

　　11 MEMS开关以及MEMS开关的制造方法

　　12 MEMS开关装置保护

　　13 RF MEMS 开关的互联结构的实现方法

　　14 包括微机电开关（MEMS）装置的配电系统

　　15 包括微机电系统(MEMS)阵列的电源开关系统

　　16 串联式射频MEMS开关

　　17 弹簧加载的双稳态MEMS开关

　　18 含MEMS开关的谐振频率可重构的天线及其制作

　　19 基于MEMS金属桥换能元结构由常断向常通状态转换双稳态开关

　　20 基于MEMS开关的程控步进衰减器

　　21 基于光子晶体的RF-MEMS开关

　　22 基于静电斥力的电容式射频MEMS开关

　　23 基于静电斥力和引力混合驱动的射频MEMS开关

　　24 基于声界面波、集成MEMS开关的单片滤波器组件及其制作方法

　　25 基于限流装置的可复位MEMS微开关阵列

　　26 集成方式的RF MEMS开关

　　27 接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器

　　28 具有布置成传导开关电流的衬底的MEMS开关阵列

　　29 具有成像系统的光学微机电系统开关及其使用方法

　　30 具有封装壳体的MEMS开关及其它微小化装置及其制造方法

　　31 具有改进的关态电压控制的MEMS开关

　　32 具有集成MEMS电开关的干涉式调制器阵列的显示装置及方法

　　33 具有挠性和自由开关膜的RFMEMS开关

　　34 具有设定和锁存电极的MEMS开关

　　35 具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关

　　36 绝缘液体封装RF-MEMS开关

　　37 利用并联的MEMS开关和固态开关的开关体系结构

　　38 双通道射频MEMS开关及其制造方法

　　39 碳纳米管MEMS开关及其制备方法

　　40 向下类型MEMS开关及其制造方法

　　41 压电MEMS开关及制造方法

　　42 一种MEMS开关仿真分析方法

　　43 一种MEMS开关及其计算机系统

　　44 一种含MEMS开关的可重构匹配网络匹配器

　　45 一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器

　　46 一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器及其制备方法

　　47 一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关

　　48 一种基于MEMS技术的压力开关

　　49 一种基于MEMS开关的开关阵列

　　50 一种基于MEMS开关的温度保护器件

　　51 一种耐冲击硅梁MEMS复合开关

　　52 一种射频MEMS开关

　　53 一种射频MEMS开关

　　54 一种射频MEMS开关及其形成方法

　　55 一种小型化MEMS开关线移相器

　　56 应用微机电系统MEMS开关的电池组保护电路

　　57 用于MEMS开关的梁

　　58 用于集成电路封装内的MEMS开关的方法和系统