1 CN00819458. 用于薄膜材料的沉积和/或表面改性的电子束/微波气体喷射PECVD方法和设备

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　　6 CN200710154131. 用于PECVD沉积工艺期间包覆屏蔽的系统和方法

　　7 CN200710150227. 一种可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室电极

　　8 CN200710150228. 可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室异形电极

　　9 CN200710150229.可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室背馈入式平行板功率电极

　　10 CN200680014729. 通过后PECVD沉积UV处理增加氮化硅膜的拉伸应力的方法

　　11 CN200710176718. 一种生长硅基薄膜及高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD设备

　　12 CN200680025484. 用于容器上内屏障层的PECVD沉积且包括光学等离子体分析器件的装置

　　13 CN200680028543. 使用氟化硫从CVD/PECVD腔的内部除去表面沉积物的远程腔方法

　　14 CN200680030052. 利用气体注入孔的PECVD的光发射干涉测量

　　15 CN200680027317. 用于在容器内部进行等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)内阻挡层的装置,所述装置包括被电磁阀隔离的气路

　　16 CN200680014625. 增加PECVD氮化硅膜层的压缩应力的方法

　　17 CN200410061150. PECVD沉积低应力SiN薄膜工艺

　　18 CN200480019959. PECVD富含硅的氧化物层以减少EEPROM中的UV充电

　　19 CN200510018649. PECVD沉积SiN薄膜剥离工艺

　　20 CN200510116578. 采用PECVD由氨基硅烷制备氮化硅

　　21 CN200610143249. 调制PECVD放电源的功率及其有关函数的系统和方法

　　22 CN200710110433 消除PECVD膜的晶片效应

　　23 CN201010257532. PECVD系统中的气体混合装置、方法和系统

　　24 CN201010146272. 一种平板PECVD氮化硅覆膜系统

　　25 CN201110232954. 薄膜太阳能电池多级PECVD沉积设备

　　26 CN201010294003. 内连接PECVD腔体

　　27 CN201010294000. 连续模块化设计PECVD腔体

　　28 CN201210136395. 一种用箱体式PECVD设备制备非晶硅锗薄膜电池的方法

　　29 CN201080055555. 利用持续的等离子体的PECVD多重步骤处理

　　30 CN200710128087. 在硅和有机前驱物的PECVD工艺中减少气相反应以沉积无缺陷起始层方法

　　31 CN200810025357.平板氮化硅薄膜PECVD沉积系统

　　32 CN200710046678. 太阳能电池片连续式PECVD载片舟成型方法

　　33 CN200710094290. PECVD装置的气体管路结构

　　34 CN200780023174. 改善PECVD不定形碳膜层的膜内缺陷的方法

　　35 CN200780030401. PECVD薄膜的总缺陷的减少

　　36 CN200910183765. PECVD用硅片载片器的转换装置

　　37 CN200910183760.PECVD用硅片载片器的变换装置

　　38 CN200910183761. PECVD用硅片载片器的改装装置

　　39 CN200910183762. PECVD用硅片载片器的挂钩

　　40 CN201010140438. PECVD镀膜专用硅片承载器

　　41 CN200810229877. 全自动大型平板式PECVD晶硅光伏减反射覆膜制备设备

　　42 CN201010125516. 可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室瓦片式功率电极

　　43 CN200880108199. 具有冷却的背板的PECVD工艺腔室

　　44 CN200910119149. 一种PECVD薄膜沉积的自动化制程控制方法

　　45 CN200910011028.全自动大型平板PECVD氮化硅覆膜制备系统

　　46 CN200910142443. 可提升薄膜太阳能电池均匀性的PECVD装置及方法

　　47 CN200910158204. 一种带有内加热器的PECVD系统

　　48 CN200910090006 采用PECVD制备碳化硅薄膜的方法

　　49 CN201010545964. 复合电极板及PECVD沉积盒和PECVD系统

　　50 CN200980118333. 使用共形等离子体增强化学气相沉积(PECVD)膜来缩减关键尺寸的方法

　　51 CN201010529996. 一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统

　　52 CN200980124223. 用于低温PECVD应用的基座加热器

　　53 CN200910241478. 一种PECVD系统

　　54 CN201010294787. PECVD上下同时镀膜方法

　　55 CN200910243202. 去除工艺过程中产生的薄膜污染物的方法及PECVD系统

　　56 CN201110301650. 一种晶体硅太阳能电池PECVD彩虹片返工方法

　　57 CN201110160611. 用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车

　　58 CN201110338132. 嵌入式PECVD载片器

　　59 CN201110374168. 增加PECVD氮化硅膜层的压缩应力的方法

　　60 CN201110458861. 用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统

　　61 CN201080029199. 使用有机硅前体的PECVD涂层

　　62 CN201110419861. 直接式PECVD生产中节省气体的方法

　　63 CN201110458760. 板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构

　　64 CN201110404601. 一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统

　　65 CN201210044321. 一种PECVD用的双面电极孔石墨舟

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　　67 CN201110458758. 板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台

　　68 CN201010591222. 加热控制方法、装置和系统、以及PECVD设备

　　69 CN201110458757. 板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台