硅晶片生产制备专利技术汇编

　　1 CN2016102633281 一种获得大尺寸碳化硅单晶片高加工精度的方法

　　2 CN2016102003291 硅晶片清洗工艺

　　3 CN2016100718834 一种碳化硅晶片的抛光液

　　4 CN2016100718868 一种碳化硅晶片的双面抛光方法

　　5 CN2015109829560 外延硅晶片的制造方法

　　6 CN201510973546X 一种生长大尺寸低缺陷碳化硅单晶和晶片的方法

　　7 CN2015104698977 一种多硅晶片手机窗口切割方法

　　8 CN2015104699255 一种多硅晶片手机屏幕成型方法

　　9 CN2015104177611 一种采用断面切割腐蚀技术检测硅晶片体内微缺陷的方法

　　10 CN2015102310736 由硅构成的半导体晶片和其制造方法

　　11 CN2015102082621 多晶硅晶棒及来自其的硅晶片

　　12 CN2015101713960 硅晶片的制造方法及硅晶片

　　13 CN2015101674896 硅晶片的热处理方法和硅晶片

　　14 CN2015800022056 外延碳化硅晶片的制造方法

　　15 CN2015100801269 深硅刻蚀机台及其晶片保护装置

　　16 CN2015100052087 一种碳化硅单晶片的镀膜方法和装置

　　17 CN2014108145988 一种碳化硅晶片外延前预清洗方法

　　18 CN2014108119964 一种硅晶片细抛光组合物及其制备方法

　　19 CN201410775111X 一种利用合成树脂锡盘的碳化硅单晶片化学机械抛光方法

　　20 CN2014107644160 一种去除碳化硅单晶中空微缺陷内部、及晶片表面有机污染物的方法

　　21 CN2014107578489 一种能够延长抛光垫使用寿命的硅晶片精抛光液

　　22 CN2014107585637 一种硅晶片精抛光组合物及制备方法

　　23 CN2014107500111 碳化硅晶片斜面磨削、研磨和抛光机及其操作方法

　　24 CN2014106765670 一种硅晶片循环抛光装置及循环抛光方法

　　25 CN2014106673984 硅晶片外部的电感器/变压器

　　26 CN2014106676075 太阳能电池用硅晶片的制造方法

　　27 CN2014105788228 用于化学机械抛光硅晶片的方法

　　28 CN2014800576851 硅晶片用研磨液组合物

　　29 CN2014800035441 碳化硅单晶晶片、和碳化硅单晶锭的制造方法

　　30 CN2014105047324 用于抛光硅晶片的化学机械抛光组合物及相关方法

　　31 CN2014800466796 硅晶片及其制造方法

　　32 CN2014103818750 硅晶片及其制造方法

　　33 CN2014103403767 结晶性硅晶片的织构蚀刻液组合物及织构蚀刻方法

　　34 CN2014103029675 卧式炉管的保护装置，硅晶片的加工系统和加工方法

　　35 CN2014800517590 碳化硅单晶晶片的内应力评价方法和碳化硅单晶晶片的翘曲预测方法

　　36 CN2014102271493 一种改善硅晶片机械性能的方法

　　37 CN2014800077798 外延碳化硅晶片用碳化硅单晶基板的制造方法以及外延碳化硅晶片用碳化硅单晶基板

　　38 CN2014101552377 一种对硅酸镓镧晶片进行清洗的方法

　　39 CN2014800231343 单晶的制造方法和硅晶片的制造方法

　　40 CN2014101412526 稳定的可浓缩的硅晶片抛光组合物及相关方法

　　41 CN2014101412653 硅晶片抛光组合物及相关方法

　　42 CN2014101167647 一种碳化硅晶片腐蚀的方法和装置

　　43 CN2014101025754 一种高效硅晶片研磨液

　　44 CN2014100686389 一种硅晶片切割废浆中回收聚乙二醇的再利用方法

　　45 CN2014800025721 使用多个晶片锯旋转角度进行硅晶片锯割的非常规方法

　　46 CN2014100419782 一种室温下吸除硅晶片或硅器件中过渡金属杂质的方法

　　47 CN2014800292807 用于半导体的单晶硅锭和晶片

　　48 CN2013107535188 一种适用于硅晶片边抛光的抛光组合物及其制备方法

　　49 CN201310753521X 一种适用于大尺寸硅晶片抛光的抛光组合物及其制备方法

　　50 CN2013107535811 硅单晶片抛光方法

　　51 CN2013107421168 硅单晶片加工新工艺

　　52 CN2013800679196 用于硅晶片的局部掺杂的液体掺杂介质

　　53 CN2013800679270 用于从硅晶片吸除杂质的氧化物介质

　　54 CN2013800679389 用于硅晶片的局部掺杂的掺杂介质

　　55 CN2013800679302 用于硅晶片的可印刷的扩散阻挡层

　　56 CN2013106108142 一种辨别碳化硅晶片硅碳面的方法

　　57 CN2013104382871 一种用于硅晶片缺陷检测和面形测量的方法

　　58 CN2013104273499 一种硅晶片差异化研磨装置

　　59 CN201380069725X 硅单晶晶片、其制造方法以及检测缺陷的方法

　　60 CN2013104127806 制造硅单晶籽晶和硅晶片的方法及硅晶片和硅太阳能电池

　　61 CN2013103897620 一种半导体硅晶片研磨液

　　62 CN2013103638096 一种加工厚层外延用硅单晶片的倒角砂轮及倒角方法

　　63 CN2013103419239 单晶硅半导体晶片及其制造方法

　　64 CN2013800409479 外延硅晶片的制造方法和外延硅晶片

　　65 CN2013102918916 硅晶片电阻率测量装置及方法

　　66 CN2013800325204 用于对纹理化单晶硅晶片上的角锥进行光学测量的方法

　　67 CN2013102166524 低应力的外延硅晶片

　　68 CN2013800276886 太阳能电池用硅晶片及其制造方法

　　69 CN2013800350352 碳化硅外延晶片及其制造方法

　　70 CN2013800350738 碳化硅外延晶片及其制造方法

　　71 CN2013800347218 碳化硅外延晶片及其制备方法

　　72 CN2013800290455 氮化镓到硅的直接晶片粘结

　　73 CN2013800271064 涂覆有钝化层的硅晶片

　　74 CN2013800270042 涂覆有钝化层的硅晶

　　247 CN2006800510775 单晶硅晶片的制造方法

　　248 CN2006800513114 单晶硅晶片的制造方法

　　249 CN2006101678898 硅晶片研磨装置及其保持组件、硅晶片平整度校正方法

　　250 CN2006800503409 具有本征吸杂的砷和磷掺杂的硅晶片衬底

　　251 CN2006101370073 一种含碳化硅晶片的碳化硅陶瓷组合物

　　252 CN2006101370143 一种含碳化硅晶片以及片状氧化铝嵌入颗粒的碳化硅陶瓷

　　253 CN2006101391826 一种含碳化硅晶片以及棒状氧化铝嵌入颗粒的碳化硅陶瓷