半导体激光器VCSEL阵列及芯片封装专利技术大全

　　1、一种VCSEL阵列电极结构及制备方法

　　2、一种高功率VCSEL阵列芯片倒装焊封装结构及制备方法

　　3、具有小脉冲延迟的VCSEL阵列

　　4、用于记录三维图像的SMI传感器的VCSEL装置

　　5、一种带有衍射光学元件VCSEL芯片结构及制备方法

　　6、一种基于衬底散热的VCSEL阵列芯片封装结构

　　7、一种VCSEL激光器

　　8、一种双共振腔VCSEL激光器及其制作方法

　　9、一种带相位补偿层的VCSEL结构及制备方法

　　10、一种基于VCSEL的泵浦光源及制备方法

　　11、一种VCSEL芯片

　　12、VCSEL芯片及其制造方法

　　13、一种具有石墨烯导电膜的VCSEL

　　14、包含具有压缩应力AlGaAsP层的垂直共振腔表面放射激光二极管(VCSEL)

　　15、一种用于VCSEL的多组分量子阱外延结构及其制备工艺

　　16、氧化物间隔HCG VCSEL及其制造方法

　　17、一种光学元件及VCSEL激光器件

　　18、一种激光功率可控的小型化VCSEL激光器

　　19、可分区导通的VCSEL激光光源

　　20、VCSEL激光光源

　　21、大功率VCSEL激光器的驱动控制方法

　　22、一种可调谐VCSEL激光器芯片及其制造方法

　　23、一种新型Vcsel的外延结构及其对应氧化孔径的测试方法

　　24、高功率vcsel芯片及其制备方法

　　25、VCSEL驱动电路及装置

　　26、具有多个电流局限层的垂直共振腔表面放射激光二极管（VCSEL）

　　27、一种衬底型衍射光学元件VCSEL分光结构及制备方法

　　28、倒装vcsel光源和TOF模组

　　29、一种VCSEL激光器及其制作方法

　　30、一种VCSEL芯片氧化孔制备用湿法氧化装置

　　31、一种带有光学透镜的VCSEL激光器件

　　32、VCSEL单元单独可控的激光器

　　33、一种高反射率VCSEL芯片的制备方法

　　34、一种VCSEL芯片及其制作方法

　　35、带有钝化的光学匹配垂直腔面发射激光器（VCSEL）

　　36、点阵生成方法、装置、存储介质、电子设备及VCSEL阵列光源

　　37、包括至少一个VCSEL和扩散透镜的发光器件

　　38、一种VCSEL芯片的低温氧化方法

　　39、一种VCSEL芯片及其制造方法

　　40、VCSEL偏置电路及相关设备

　　41、具有密集外延侧接触部的VCSEL

　　42、一种光学元件及VCSEL器件

　　43、VCSEL芯片及其制造方法

　　44、一种VCSEL芯片及其制造方法

　　45、一种VCSEL芯片

　　46、具有多重限制隔离的VCSEL

　　47、VCSEL光芯片测试衬底掏空调制器装置

　　48、一种出射相干光的VCSEL阵列芯片

　　49、倒装vcsel光源和TOF模组

　　50、一种具有石墨烯导电膜的VCSEL及其制作方法

　　51、一种具有非对称限制层的VCSEL

　　52、一种带有光学透镜的VCSEL激光器件

　　53、一种带有光学透镜的VCSEL激光器件

　　54、一种用于光致发光测试的VCSEL结构外延材料结构及制备方法

　　55、包括电流扩散层的氧化型VCSEL及其制造方法

　　56、一种VCSEL封装结构

　　57、倒装芯片底发射的垂直腔面发射激光器封装及其制作方法

　　58、具备倒装结构的VCSEL、VCSEL阵列及其制备方法

　　59、一种VCSEL芯片

　　60、一种基于VCSEL芯片封装的激光模组管

　　61、具有降低的RIN的带有椭圆形孔口的VCSEL

　　62、一种具有透明顶衬与背面正负电极的VCSEL器件及其制备方法

　　63、基于VCSEL的生物特征识别设备

　　64、表面贴装的兼容的VCSEL阵列

　　65、一种高增益有源区及一种VCSEL

　　66、一种新型DBR结构的VCSEL

　　67、一种具有背面正负电极的VCSEL器件及其制备方法

　　68、具有高介电常数限制孔的VCSEL器件

　　69、一种VCSEL芯片及其制备方法

　　70、具有多重限制隔离的VCSEL及VCSEL制作方法

　　71、基于注入锁定技术的高速VCSEL阵列集成一体化的方法及系统

　　72、单个芯片串联连接VCSEL阵列

　　73、人眼安全VCSEL照明器封装件

　　74、VCSEL偏置电路及相关设备

　　75、一种VCSEL芯片及其制造方法

　　76、具有共同的晶片级集成光学装置的VCSEL阵列

　　77、包括VCSEL阵列的激光器布置结构

　　78、单颗可变色阵列型VCSEL芯片

　　79、一种VCSEL阳极驱动电路及方法

　　80、一种实现偏振控制的VCSEL器件及其制备方法

　　81、一种VCSEL芯片及其制备方法

　　82、一种VCSEL激光器制备方法

　　83、具有小角发散度的VCSEL阵列LIDAR发送器

　　84、具有改进的增益开关特性的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)

　　85、一种激光器（VCSEL）封装结构

　　86、一种高增益有源区的生长方法及VCSEL的生长方法

　　87、一种可主动控温的VCSEL激光器TO封装结构

　　88、一种具有非对称限制层的VCSEL及其制作方法

　　89、高效率氧化型垂直共振腔面发射激光器及其制造方法

　　90、具有改进的光提取性的高效率氧化型VCSEL及其制造方法

　　91、显示器的VCSEL的新型图案化、感测和成像

　　92、一种具有非对称氧化结构VCSEL单元

　　93、基于柔性衬底的半导体外延结构、VCSEL及制作方法

　　94、一种用于3D深度获取设备的VCSEL阵列及该3D深度获取设备

　　95、一种Vcsel芯片光点排布方法

　　96、超小型垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的发射器结构以及包括该发射器结构的阵列

　　97、超小型垂直腔表面发射激光器(VCSEL)阵列的光束整形

　　98、超小型垂直腔表面发射激光器(VCSEL)以及包括所述超小型垂直腔表面发射激光器的阵列

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　　287、具有空气间隙和保护涂层的垂直腔面发射激光器

　　288、高导热率垂直腔面发射激光器

　　289、包括CMOS VCSEL驱动器、高性能光检测器、以及CMOS光接收器的高速数据通道

　　290、可筛选水分钝化平面折射率导向型垂直腔面发射激光器

　　291、在垂直空腔表面发射激光器中用横向带隙构造模式控制

　　292、用于半导体激光器泵浦的固体激光器系统中的具有集成微透镜的VCSEL及VCSEL阵列

　　293、具有一个VCSEL光源阵列的用于印版的制图像装置

　　294、微机电调谐共焦垂直腔面发射激光器与法布里－珀罗滤光器

　　295、带有VCSEL光源的红外数据交联数据链路

　　296、P在下的低阻的上发射脊垂直腔面发射激光器和制造方法

　　297、具有垂直腔表面发射激光器或阵列的小型光盘只读存储器头

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